為了使碳化硅生產(chǎn)符合生產(chǎn)流程且潔凈度達標，碳化硅無塵車間的設計工作就至關(guān)重要，需要合理布局與規(guī)劃。所有裝修工作需依據(jù)工藝設計圖紙進行，才能保證工藝可行性。

一、碳化硅無塵車間墻體隔斷裝修注意事項

碳化硅無塵車間裝修墻面應光滑、平整抗塵，耐腐蝕，色彩協(xié)調(diào)，并且具備抗腐蝕、耐磨損的特征。墻面與地面相交處要防止縫隙，以減少灰塵積聚和便于清潔，便于清潔。物流通道等易撞處墻邊宜設置防撞護欄，防止因裝修材料震動而脫落灰塵。

二、碳化硅無塵車間門窗裝修注意事項

碳化硅無車車間裝修時，不同潔凈等級的房間之間的門窗縫隙要做密封處理。門窗材料應選擇耐熱性好，自然變形小，氣密性好的，造型要簡單大方，不積塵，便于清掃。潔凈廠房的門窗宜用金屬或金屬涂塑材料，不得使用木門窗，以免長期受潮長菌。外墻上的窗宜與內(nèi)墻面平整，窗臺呈斜角或不留窗臺，且為雙層固定窗以減少能量損失。

三、碳化硅無塵車間通道裝修注意事項

裝修無車車間在建筑布局上一般在廠房外設置一環(huán)形密封通道。它使?jié)崈魠^(qū)與外界有了一個緩沖區(qū)域。能夠防止外界污染同時也相對節(jié)能。廠房內(nèi)門窗宜與內(nèi)墻面平整，不設置窗臺。外窗的層數(shù)設置和結(jié)構(gòu)形式要充分考慮對空氣水分的密封，使污染粒子不易從外部滲入。

四、碳化硅無塵車間吊頂裝修注意事項

碳化硅無塵車間裝修吊頂與墻面要連接平整光滑。吊頂與送回風管間要確保封閉。吊頂安裝完成后要進行燈檢，保證無縫隙。一般情況下，技術(shù)夾層內(nèi)應當設置檢修走道，便于管道的檢修和過濾器的定期更換。為了保證碳化硅無塵車間室內(nèi)清潔，所有送風管，燈具必須布置在技術(shù)夾層里。頂部多采用烤漆方通支撐，重量輕，整體強度大，整體性好，保溫隔熱發(fā)塵小等特點，比較適用于無塵車間。

五、碳化硅無塵車間地面裝修注意事項

碳化硅無塵車間裝修具有防靜電，發(fā)塵小，耐磨耐沖擊等特點但是造價高。目前大多采用pvc地板或環(huán)氧自流坪地板。PVC地板是通過聚氯乙烯材料制作加工出來的地板，具有綠色環(huán)保、超輕超薄、防水防火等多種特征，且安裝操作快捷簡單。而自流坪地板有很強的自動找平功能，可以自行修補地板間的高低差，使所有地板露出面位都保持在同一水平線上，同時這類地板還具有耐摩擦的特性。