高效過(guò)濾器現(xiàn)場(chǎng)安裝以后檢漏是確認(rèn)高效過(guò)濾器及配套的安裝靜壓箱，沒(méi)有發(fā)現(xiàn)泄漏或微量泄漏是在規(guī)范允許的范圍之內(nèi)。如果高效過(guò)濾器裝置經(jīng)檢漏是合格的，可以確保潔凈室的安全可靠的運(yùn)行，如此時(shí)室內(nèi)潔凈度仍未達(dá)標(biāo)，應(yīng)從潔凈室的其它方面查找原因。

高效過(guò)濾器安裝后的檢漏不同于過(guò)濾器廠家在工廠里的效率測(cè)試。后者僅對(duì)過(guò)濾器的效率和其它相關(guān)性能測(cè)試，而前者涉及高效過(guò)濾器和安裝過(guò)程中相關(guān)的多種因素而產(chǎn)生的泄漏。

檢漏時(shí)，從高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)引入氣溶膠，并同時(shí)在高效過(guò)濾器的下風(fēng)側(cè)進(jìn)行掃描檢漏，以檢漏高效過(guò)濾器的過(guò)濾介質(zhì)，密封膠過(guò)濾器框架，密封墊片等處有無(wú)泄漏。

在檢測(cè)中，如果室內(nèi)干擾因素太多，為排除干擾，可在風(fēng)口出口加隔離罩，在罩內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)，這樣檢測(cè)的數(shù)據(jù)較為準(zhǔn)確。

尤其要注意的是，在過(guò)濾器和安裝框架之間的檢漏，可以沿安裝框架檢漏，也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏，但要排除卷吸氣流的干擾，要避免箱體上的積灰干擾，尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過(guò)濾器的框架。

在高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)發(fā) DOP 檢漏時(shí)，在高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)必須設(shè)有 DOP 的導(dǎo)入裝置及濃度檢測(cè)管。這兩個(gè)管子也可以用來(lái)檢測(cè)過(guò)濾器的阻力。

結(jié)論

（1）高效過(guò)濾器安裝以后必須要進(jìn)行檢漏；
（2）要計(jì)算 DOP 的發(fā)塵量及系統(tǒng)風(fēng)量，確定DOP 導(dǎo)入地點(diǎn)；
（3）要測(cè)量高效過(guò)濾器上游的粒子濃度；
（4）根據(jù)規(guī)范按 0.5μm 的粒徑來(lái)檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來(lái)檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標(biāo)準(zhǔn)來(lái)確定 K 值；
（5）建議采用 28.3 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器來(lái)檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器，必須控制掃描速度。